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      MDA-400M光刻機
      

          
          
      
            
        

              
           
              
      • MDA-400M光刻機
              
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              MDA-400M光刻機
                  
            
      

          
      

          
          
      
            
      MDA-400M光刻機
      
            
          
      

          
      
           MDA-400M光刻機
      
光刻機又名：掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統，光刻機，紫外曝光機等；
      
MIDAS為全球領先的半導體設備供應商，多年來致力于掩模對準光刻機和勻膠機研發與生產，并且廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領域；該公司是目前世界上最早將光刻機商品化的公司之一，擁有雄厚的技術研發力量和設備生產能力；并且其設備被眾多著名企業、研發中心、研究所和高校所采用；以優秀的技術、精湛的工藝和良好的服務，贏得了用戶的青睞。
      

      
產地：韓國MIDAS公司，唯一能做到圖形化藍寶石襯底（PSS）光刻機，高性價比
      
型號：MDA-400M
      
廠家鏈接：http://www.midas-china.com.cn/
      

      
	
      

      

      
	MDA-400M

      

      
	易于操作和安裝，處理各種尺寸的基板，帶觸摸屏面板的PLC控制

      

      
	?全手動類型

      

      
	?掩模版尺寸達5英寸

      

      
	?基板尺寸為4英寸圓形

      

      
	?均勻光束尺寸4.25*4.25英寸

      

      
	?光源：紫外線燈，350 W

      

      
	?光束波長350~450 nm

      

      
	?光束均勻性<±3%

      

      
	?365 nm強度 ~25 mW/?

      

      
	?手動對準

      

      
	?對準精度1 um

      

      
	?操作模式：軟、硬、真空接觸和接近

      

      
	?工藝分辨率 1 um@1 um PR厚度，帶真空觸點

      

      
	?尺寸（mm）1080（寬）*1060（深）*1580（高）

      

      
	
      

      

      
          
      

          
      
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