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MDA-400LJ
操作安裝方便，可處理各種尺寸的基板，采用UV-LED曝光模塊，UV-LED壽命長
?手動操作
?掩模版尺寸達5英寸
?基板尺寸為4英寸圓形
?均勻性光束尺寸125mm圓
?UV光源UV LED
?光束波長365 nm
?光束均勻性<±3%
?365 nm強度 ~20 mW/?
?手動對準
?對準精度1 um
?操作模式軟、硬、真空接觸和接近
?工藝分辨率：1 um@1 um PR厚度，真空接觸
?尺寸（mm）800（寬）*800（深）*800（高）
MDA-600LJ
操作安裝方便，可處理各種尺寸的基板，采用UV-LED曝光模塊，UV-LED壽命長
?手動操作
?掩模版尺寸高達7英寸
?基板尺寸為6英寸圓形
?均勻光束尺寸170 mm圓
?UV光源：UV LED
?光束波長365 nm
?光束均勻性<±5%
?365 nm強度 ~20 mW/?
?手動對準
?對準精度1 um
?操作模式：軟、硬、真空接觸和接近
?工藝分辨率 1 um@1 um PR厚度，真空接觸
?重量（kg）150
?尺寸（mm）800（寬）*800（深）*800（高）
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